廢氣焚燒爐有直燃式廢氣焚燒爐(稱 TO)和蓄熱式廢氣焚燒爐(稱RTO)。蓄熱式廢氣焚燒爐有蓄熱一體式和蓄熱分體式之分，通常用蜂窩陶瓷做蓄熱材料。

在同樣工作環境下要使有機廢氣中的有機物徹底氧化分解，焚燒爐爐膛的溫度應當在760℃以上，公式如：需要的能量=材料的比熱×材料的質量×溫度

所以，爐膛的溫度越高就意味著，消耗的燃料就越多，很多廠，看過好些不同形式的直燃式廢氣焚燒爐，一，這種爐子很難燒到800℃~900℃，二，隨著溫度的升高，燃油的消耗明顯升高，有些工廠將爐膛的溫度控制在760℃以下，這就造成有機物的氧化分解不徹底，其表現特征為：

(1)焚燒爐熱交換器的管壁上沉積了一層厚厚的沉積物，更為嚴重時，排煙煙囪常常會有片狀的黑色膠渣飄出。

(2)在周邊地區能夠聞到某些有機物的氣味，在排煙煙囪處抽樣，某些有機物的含量可能會超標，所以直燃式廢氣焚燒爐雖然具有將有機溶劑氧化分解的功能，但如果爐膛的溫度偏低時，焚燒爐的尾氣排放就有可能超標。

而蓄熱式廢氣焚燒爐爐膛的溫度很容易達到800℃ ~900℃，在這樣高的溫度下，有機物被徹底氧化分解為水和二氧化碳，在焚燒爐的熱交換器的管壁見不到任何沉積物。排煙煙囪不會有片狀的黑色膠渣飄出，周邊地區也聞不到某些有機物的氣味，在排煙煙囪處抽樣結果完全達標，所以說更加環保。